關於退火有什麽工藝技術?
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發表時間:2020-02-21
退火工藝:
1、球化退火的具體工藝
①普通(緩冷)球化退火,緩冷適用於多數鋼種,尤其是裝爐量大時,操作比較方便,但生產周期長;②等溫球化退火,適用於多數鋼種,特別是難於球化的鋼以及球化質量要求高的鋼(如滾動軸承鋼);其生產周期比普通球化退火短,不過需要有能夠控製共析轉變前冷卻速率的爐子;③周期球化退火,適用於原始組織為片層狀珠光體組織的鋼,其生產周期也比普通球化退火短,不過在設備裝爐量大的條件下,很難按控製要求改變溫度,故在生產中未廣泛采用;④低溫球化退火,適用於經過冷形變加工的鋼以及淬火硬化過的鋼(後者通常稱為高溫軟化回火);⑤形變球化退火,形變加工對球化有加速作用,將形變加工與球化結合起來,可縮短球化時間。它適用於冷、熱形變成形的鋼件和鋼材(如帶材)。
2、再結晶退火工藝
應用於經過冷變形加工的金屬及合金的一種退火方法。目的為使金屬內部組織變為細小的等軸晶粒,消除形變硬化,恢複金屬或合金的塑性和形變能力(回複和再結晶)。若欲保持金屬或合金表麵光亮,則可在可控氣氛的爐中或真空爐中進行再結晶退火。
去除應力退火鑄、鍛、焊件在冷卻時由於各部位冷卻速度不同而產生內應力,金屬及合金在冷變形加工中以及工件在切削加工過程中也產生內應力。若內應力較大而未及時予以去除,常導致工件變形甚至形成裂紋。去除應力退火是將工件緩慢加熱到較低溫度(例如,灰口鑄鐵是500~550℃,鋼是500~650℃),保溫一段時間,使金屬內部發生弛豫,然後緩冷下來。應該指出,去除應力退火並不能將內應力完全去除,而隻是部分去除,從而消除它的有害作用。
還有一些專用退火方法,如不鏽耐酸鋼穩定化退火;軟磁合金磁場退火;矽鋼片氫氣退火;可鍛鑄鐵可鍛化退火等。
退火技術:
1、半導體退火
半導體芯片在經過離子注入以後就需要退火。因為往半導體中注入雜質離子時,高能量的入射離子會與半導體晶格上的原子碰撞,使一些晶格原子發生位移,結果造成大量的空位,將使得注入區中的原子排列混亂或者變成為非晶區,所以在離子注入以後必須把半導體放在一定的溫度下進行退火,以恢複晶體的結構和消除缺陷。同時,退火還有激活施主和受主雜質的功能,即把有些處於間隙位置的雜質原子通過退火而讓它們進入替代位置。退火的溫度一般為200~800C,比熱擴散摻雜的溫度要低得多。
2、蒸發電極金屬退火
蒸發電極金屬以後需要進行退火,使得半導體表麵與金屬能夠形成合金,以接觸良好(減小接觸電阻)。這時的退火溫度要選取得稍高於金屬-半導體的共熔點(對於Si-Al合金,為570度)。